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镀镍抛光清洗设备

1.本设备是镀镍抛光清洗设备，适用于4-6英寸半导体硅片清洗工艺

2.整机由机台、操作台面、清洗槽体、封闭电炉子，排风、机台照明、电气控制系统等组成。整体颜色为瓷白色，德国PP板。

3.共3个槽体，电磁炉台位2个，DIW清洗槽1个

4.可清洗的硅片批量：25片/篮，每批2 篮

5.设备的左、右前方各配置PP材料的水枪、四氟N2GUN各一把。

6.电力供应：三相 220V/50Hz  500W

7. PLC控制器

8. 声光提示、报警功能

9. 设备照明：20W封闭日光灯