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四氟化碳
UN: 1956 CAS NO:75-73-0,30kg/瓶 铜阀门QF-2,阀门型号:CGA660,出口螺纹:G5/8.
CF4是不燃烧的无色无味的压缩气体,饱和蒸汽压力2000psig,是目前微电子工业中用量最多的等离子蚀刻气体,可广泛用于硅,二氧化硅,氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻。在常温常压下为无色无臭有轻微酸味的气体。空气中不易燃烧,是比较稳定的无毒物质。但是在高温时,或与可燃气体一同燃烧是,分解出有毒的氟化物。在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术,气相绝缘,低温制冷,泄漏检验剂,控制宇宙火箭姿态,印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。也可用于金属冶炼,铜,不锈钢,碳钢,铝蒙及尔,还用于塑料行业。
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