【国内厂家供应电子级高纯三氯氧磷】其他批发价格,厂家,图片,采购-广东深圳市其他供应商/公司

国内厂家供应电子级高纯三氯氧磷

￥3000

规格：1.5L

包装：石英瓶

品牌：leadmat

电子级三氯氧磷

一、分子式：POCl3

二、分子量：153.35

三、理化性质:

无色透明挥发性液体，具有强烈的刺激性气味。易水解于潮湿的空气中，生成磷酸和盐酸。熔点为1.25℃，沸点为102℃，相对密度为1.675。蒸发热33.7kJ/mol。接近300℃时，仍很稳定。遇到大量水时会发生爆炸。有毒性和腐蚀性。

四、用途:

主要用于芯片的N型掺杂，是制作集成电路、太阳能电池、光纤预制棒、分离器件等的液态磷源，是芯片制程中必须的电子化学品，同时电子级三氯氧磷也是制作高纯磷酸酯的原料。

CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /AtomicLayer Depostion )化学气相沉积材料

Dielectrics PMD/IMD	TEOS ,TEPO,TMPO,TEB,TMB
Low K Dielectrics	4MS ,OMCATS
High K Dielectrics	TAETO (Ta2O5 Precursor ) TEMAZ (ALD ZrO2 Precursor) TMA (Al2O3 Precursor)
Metal Gate and Interconnect Metal	TDMAT (TiN Precursor ) TiCl4 ( Ti /TiN Precursor )
Low-Temp Nitride/Oxide	HCDS
Diffusion	POCl3

供应半導體化學氣相沉積材料，專業研發及製造各種先進 CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化學氣相沉積材料。

CVD Precursor(化学气相沉积材料)
TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEB

CVD Precursor(化學氣相沉積材料)
TDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-K Material
TEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。